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掃描和透射電鏡

電子顯微鏡是目前材料研究不可或缺的研究手段，包括透射/掃描電子顯微鏡 (TEM/SEM)、聚焦離子束 (FIB) 系統(tǒng)，或者與X射線(xiàn)衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合構(gòu)成電子微探針等，實(shí)現(xiàn)多個(gè)行業(yè)納米級(jí)探測(cè)、形貌觀察、微區(qū)成分分析，這些行業(yè)包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、電子、工業(yè)應(yīng)用和自然資源等領(lǐng)域。掃描電子顯微鏡組合分析功能，例如顯微熱臺(tái)和冷臺(tái)系統(tǒng)，主要用于觀察和分析材料在加熱和冷凍過(guò)程中微觀結(jié)構(gòu)上的變化；拉伸臺(tái)系統(tǒng)，主要用于觀察和分析材料在受力過(guò)程中所發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化。

掃描電子顯微鏡與其他設(shè)備組合而具有的新型分析功能為新材料、新工藝的探索和研究起到重要作用。